Большой энциклопедический словарь - фотолитография
Фотолитография
фотолитография
Рейтинг статьи:
Комментарии:
См. в других словарях
1.
Фотолитография, 1) специальный фотография, процесс на фоторезистах, отличающийся высокой разрешающей способностью. Цель Ф. – создать в слое фоторезиста «окна» заданной конфигурации для доступа травителя к расположенной под этим слоем полупроводниковой пластине с окисной пленкой. Такие «окна» образуются при экспонировании фоторезиста в потоке ультрафиолетового излучения или в потоке электронов, в результате которого он теряет (негативный фоторезист) или приобретает (позитивный фоторезист) способность к растворению. Одним из многочисленных применений Ф. служит получение этим методом сотен тысяч мельчайших упорядоченно расположенных отверстий в масках цветных телевизоров. См. также Планарная технология. 2) Фотомеханический способ изготовления литографской печатной формы (см. Литография), при котором изображение с негатива копируется на светочувствительный слой, покрывающий поверхность литографского камня (или металла). После проявления копии ее подвергают химической обработке, в результате которой поверхность разделяется на печатающие и пробельные элементы. В настоящее время (2-я половина 20 в.) Ф. применяется...Большая советская энциклопедия
Вопрос-ответ:
Похожие слова
Ссылка для сайта или блога:
Ссылка для форума (bb-код):
Самые популярные термины
1 | 5275 | |
2 | 2771 | |
3 | 2664 | |
4 | 2645 | |
5 | 2168 | |
6 | 2164 | |
7 | 1918 | |
8 | 1768 | |
9 | 1762 | |
10 | 1734 | |
11 | 1482 | |
12 | 1479 | |
13 | 1383 | |
14 | 1331 | |
15 | 1291 | |
16 | 1253 | |
17 | 1243 | |
18 | 1158 | |
19 | 1140 | |
20 | 1063 |